モイスチャーセンサ検出原理・動作メカニズム

検知部（金・絶縁基板）への湿気・水蒸気の吸着・凝集、および通電による検出プロセスをご確認いただけます。

STEP 01 (0.0s〜7.0s)

最小間隔0.1um

STEP 02 (7.0s〜14.5s)

湿気（moisture）・水蒸気（vapor）が検知部に吸着し、凝集します。

STEP 03 (14.5s〜23.0s)

吸着・凝集した水分子を電気的に検出します。

学術的根拠・実証データモイスチャーセンサに関する査読付き学術論文

出典：J. Kawakita et al., Sensors and Actuators A: Physical, 303 (2020) 111838. 他

本映像で解説している「吸着・凝集した水分子を高精度に検出」は、国際的学術雑誌に掲載された研究成果に基づいています。

電極ギャップ：>0.1 μm ガルバニアレイ構造（微細電極アレイ）シリコンチップ・絶縁基板

光学顕微鏡による検知部の観察画像（実物）

CG動画内で解説している微小ギャップ電極の実際の顕微鏡拡大写真です。写真をクリックすると高精細画像でナノ微細構造を細部までご覧いただけます。

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センサ断面図

各ステップの要素

① 防塵／防水素材

塵／水（Dust/Water）の遮断

② 湿気 moisture

検知部への透過

③ 吸着凝集＆検出

検知部での水分検出

④ ヒーター＆水蒸気 vapor

ヒーター加熱による水蒸気の脱離

出典：J. Kawakita et al., Sensors and Actuators A: Physical, 303 (2020) 111838. 他

本映像で解説している「吸着・凝集した水分子を高精度に検出」は、国際的学術雑誌に掲載された研究成果に基づいています。

電極ギャップ：＞0.1 μm ガルバニアレイ構造（微細電極アレイ）シリコンチップ・絶縁基板

光学顕微鏡による検知部の観察画像（実物）

CG動画内で解説している微小ギャップ電極の顕微鏡拡大写真です。写真をクリックすると、高解像度画像でナノ/微細構造を細部までご覧いただけます。